Instytut Łączności – Państwowy Instytut Badawczy udostępnia 2 238 obiektów cyfrowych
Szukana fraza: [Temat i słowa kluczowe = "FinFET, line edge roughness, parameter variability, plasma etching, technology computer aided design \(TCAD\)"]
Wyników: 1
Jakubowski, Andrzej Tomaszewski, Daniel Łukasiak, Lidia Korwin-Pawlowski, Michael L. Malinowski, Arkadiusz Sekine, Makoto Hori, Masaru
2009, nr 4
artykuł
