@misc{Landgren_Gunnar_CVD, author={Landgren, Gunnar and Radamson, Henry H. and Grahn, Jan}, howpublished={online}, publisher={Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa}, language={ang}, title={CVD growth of high speed SiGe HBTs using SiH4, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2000, nr 3,4}, type={artykuł}, keywords={HBT, SiGe, epitaxy, silane}, }