@misc{Grabiec_Piotr_Diagnostics, author={Grabiec, Piotr and Czarnecki, Piotr and Janus, Paweł and Gotszalk, Teodor and Rangelow, Ivo W. and Radojewski, Jacek and Szeloch, Roman F. and Marendziak, Andrzej}, howpublished={online}, publisher={Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa}, language={ang}, title={Diagnostics of micro- and nanostructure using the scanning probe microscopy, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1}, type={artykuł}, keywords={nanofabrication, scannig probe microscopy, microsystem}, }