@misc{Przewłocki_Henryk_M._Effects, author={Przewłocki, Henryk M. and Rzodkiewicz, Witold and Kudła, Andrzej and Sawicki, Zbigniew}, howpublished={online}, publisher={Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa}, language={ang}, title={Effects of stress annealing on the electrical and the optical properties of MOS devices, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1}, type={artykuł}, keywords={MOS, Si-SiO2 system, refractive index, electrical parameters, stress}, }