@misc{Bieniek_Tomasz_Modeling,,
 author={Bieniek, Tomasz and Janus, Paweł and Kociubiński, Andrzej and Duk, Mariusz},
 howpublished={online},
 publisher={Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa},
 language={ang},
 title={Modeling, Simulation and Calibration of Silicon Wet Etching, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2009, nr 4},
 type={artykuł},
 keywords={silicon technology, anisotropic wet etching, KOH},
}