@misc{Ekwińska_Magdalena_Lateral,
 author={Ekwińska, Magdalena and Rymuza, Zygmunt},
 howpublished={online},
 publisher={Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa},
 language={ang},
 title={Lateral Force Calibration Method Used for Calibration of Atomic Force Microscope, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2009, nr 4},
 type={artykuł},
 keywords={MEMS, AFM, calibration structure, cantilever},
}