@misc{Jakubowski_Andrzej_Challenges,
 author={Jakubowski, Andrzej and Beck, Romuald B. and Łukasiak, Lidia and Korwin-Pawłowski, Michał},
 howpublished={online},
 publisher={Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa},
 language={ang},
 title={Challenges in ultrathin oxide layers formation, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2001, nr 1},
 type={artykuł},
 keywords={PECVD, oxidation, silicon technology, ultrathin layers, gateoxide, RTO},
}