Tytuł:

Silicon TCD for the methane and carbon monoxide detection, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1

Autor:

Mróz, Jerzy ; Małachowski, Marcin ; Nikodem, Marek ; Górska, Marianna ; Latecki, Bogdan ; Łysko, Jan M.

Temat i słowa kluczowe:

silicon ; detector ; gas mixture

Opis:

Analytical model, design principles, technology and test results concerning a thermal conductivity detector (TCD) are presented. Prototype TCD units fabricated using the standard silicon IC VLSI and MEMS techniques are reported. The detectors are integrated with gas separation columns and micro-valve dosing systems. Initial tests were carried out in a gas mixture containing methane, carbon monoxide, oxygen, hydrogen and nitrogen.

Wydawca:

Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa

Data wydania:

2005, nr 1

Typ zasobu:

artykuł

Format:

application/pdf

DOI:

10.26636/jtit.2005.1.286

ISSN:

1509-4553

eISSN:

1899-8852

Źródło:

Journal of Telecommunications and Information Technology

Język:

ang

Prawa:

Biblioteka Naukowa Instytutu Łączności