Przewłocki, Henryk M. ; Rzodkiewicz, Witold ; Kudła, Andrzej ; Sawicki, Zbigniew
Subject and Keywords:MOS ; Si-SiO2 system ; refractive index ; electrical parameters ; stress
Description: Publisher:Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa
Date: Resource Type: Format: DOI: ISSN: eISSN: Source:Journal of Telecommunications and Information Technology
Language: Rights Management: