Jakubowski, Andrzej ; Beck, Romuald B. ; Ćwil, Michał ; Głuszko, Grzegorz ; Konarski, Piotr ; Schmeißer, Dieter ; Hoffmann, Patrick ; Mroczyński, Robert
Subject and Keywords:CMOS ; PECVD ; silicon oxynitride ; ultra-thin dielectrics
Description: Publisher:Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa
Date: Resource Type: Format: Resource Identifier:ISSN 1509-4553, on-line: ISSN 1899-8852
Source:Journal of Telecommunications and Information Technology
Language: Rights Management: