Wyszukiwanie zaawansowane ?

Obiekt

Pobierz

Tytuł: Understanding of wet and alternative particle removal processes in microelectronics: theoretical capabilities and limitations, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1

Autor:

Tardif, Francois ; Danel, Adrien ; Raccurt, Olivier

Data wydania:

2005, nr 1

Typ zasobu:

artykuł

Opis:

A 2 orders of magnitude range of van der Waals interactions is considered here to take the majority of the variety of shapes and materials of actual particles into account. Comparing these interactions with the repulsive forces generated by electrostatic charges, drag, surface tension, shock waves, high accelerations and aerosol particles, the intrinsic capabilities and limitations of the different cleaning processes can be predicted. Three kinds of particle-removal processes have been identified { universal processes capable of removing all particle sizes and types, even from patterned wafers, processes that present the same theoretical ability but are actually limited by the accessibility of the particles, and finally cleanings that are not able to remove all particle sizes.

Wydawca:

Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa

Format:

application/pdf

Identyfikator zasobu:

oai:bc.itl.waw.pl:359

DOI:

10.26636/jtit.2005.1.297

ISSN:

1509-4553

eISSN:

1899-8852

Źródło:

Journal of Telecommunications and Information Technology

Język:

ang

Prawa:

Biblioteka Naukowa Instytutu Łączności

Temat i słowa kluczowe:

particle removal cleaning SC1

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

11 cze 2024

Data dodania obiektu:

26 lut 2010

Liczba wyświetleń treści obiektu:

1 957

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://bc.itl.waw.pl/publication/409

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Nazwa wydania Data
Tardif, Francois; Danel, Adrien; Raccurt, Olivier, Understanding of wet and alternative particle removal processes in microelectronics: theoretical capabilities and limitations, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1 11 cze 2024

Obiekty Podobne
Model for Balancing Aggregated Communication Bandwidth Resources, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2009, nr 3

Kołtyś, Kamil Pałka, Piotr Toczyłowski, Eugeniusz Żółtowska, Izabela

2009, nr 3
artykuł
Semiconductor cleaning technology for next generation material systems, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2007, nr 2

Ruzyllo, Jerzy

2007, nr 2
artykuł
Gate dielectrics: process integration issues and electrical properties, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1

Schwalke, Udo

2005, nr 1
artykuł
Więcej
×

Cytowanie

Styl cytowania:

Dane kontaktowe

Adres

Instytut Łączności – Państwowy Instytut Badawczy ul. Szachowa 1 04-894 Warszawa

Telefon

(+48) 5128 696

E-Mail

biblioteka@il-pib.pl

Odwiedź nas!

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji