Wyszukiwanie zaawansowane ?

Obiekt

Pobierz

Tytuł: Lateral Force Calibration Method Used for Calibration of Atomic Force Microscope, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2009, nr 4

Autor:

Ekwińska, Magdalena ; Rymuza, Zygmunt

Data wydania:

2009, nr 4

Typ zasobu:

artykuł

Opis:

Modern heterogeneous micro- and nanostructures usually integrate modules fabricated using various materials and technologies. Moreover, it has to be emphasized that the macro and micro nanoscale material parameters are not the same. For this reason it has become crucial to identify the nanomechanical properties of the materials commonly used in micro- and nanostructure technology. One of such tests is a nanowear test performed using the atomic force microscope (AFM). However, to obtain quantitative measurement results a precision calibration step is necessary. In this paper a novel approach to calibration of lateral force acting on the tip of an AFM cantilever is discussed. Presented method is based on application of known lateral force directly on the tip using a special test structure. Such an approach allows for measurements of nanowear parameters (force, displacement) with the uncertainty better than ±3%. The calibration structure designed specifically for this calibration method is also presented.

Wydawca:

Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa

Format:

application/pdf

Identyfikator zasobu:

oai:bc.itl.waw.pl:478 ; ISSN 1509-4553, on-line: ISSN 1899-8852

DOI:

10.26636/jtit.2009.4.985

ISSN:

1509-4553

eISSN:

1899-8852

Źródło:

Journal of Telecommunications and Information Technology

Język:

ang

Prawa:

Biblioteka Naukowa Instytutu Łączności

Temat i słowa kluczowe:

MEMS AFM calibration structure cantilever

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

27 sie 2024

Data dodania obiektu:

8 mar 2010

Liczba wyświetleń treści obiektu:

231

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://bc.itl.waw.pl/publication/536

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Nazwa wydania Data
Ekwińska, Magdalena; Rymuza, Zygmunt, Lateral Force Calibration Method Used for Calibration of Atomic Force Microscope, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2009, nr 4 27 sie 2024

Obiekty Podobne
Adsorption properties of porous silicon, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2001, nr 1

Beck, Romuald B. Grabiec, Piotr Gotszalk, Teodor Rangelow, Ivo W. Domański, Krzysztof Dębski, Tomasz

2001, nr 1
artykuł
Application of scanning shear-force microscope for fabrication of nanostructures, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1

Sikora, Andrzej Gotszalk, Teodor Rangelow, Ivo W. Sankowska, Anna

2005, nr 1
artykuł
Performance and operation of stressed dual gap RF MEMS varactors, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2007, nr 1

Okoniewski, Michal McFeetors, Greg

2007, nr 1
artykuł
Semiconductor cleaning technology for next generation material systems, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2007, nr 2

Ruzyllo, Jerzy

2007, nr 2
artykuł
Correlation between electric parameters of carbon layers and their capacity for field emission, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2007, nr 3

Szmidt, Jan Czerwosz, Elżbieta Gronau, Ryszard

2007, nr 3
artykuł
Multi-Domain Modeling and Simulations of the Heterogeneous Systems, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2010, nr 1

Bieniek, Tomasz Tomaszewski, Daniel Grabiec, Piotr Janus, Paweł Kociubiński, Andrzej Malinowski, Arkadiusz Ekwińska, Magdalena Janczyk, Grzegorz Szynka, Jerzy

2010, nr 1
artykuł
Więcej
×

Cytowanie

Styl cytowania:

Dane kontaktowe

Adres

Instytut Łączności – Państwowy Instytut Badawczy ul. Szachowa 1 04-894 Warszawa

Telefon

(+48) 5128 696

E-Mail

biblioteka@il-pib.pl

Odwiedź nas!

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji