Wyszukiwanie zaawansowane ?

Obiekt

Pobierz

Tytuł: Influence of the deposition process parameters on electronic properties of BN films obtained by means of RF PACVD, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2007, nr 3

Autor:

Szmidt, Jan ; Werbowy, Aleksander ; Kwietniewski, Norbert ; Firek, Piotr

Data wydania:

2007, nr 3

Typ zasobu:

artykuł

Opis:

This work presents results of investigations of electronic properties of undoped boron nitride (BN) films produced on Si substrates in the course of radio frequency (rf) PACVD process with boron triethyl (C2H5)3B as the boron source. The influence of the deposition process parameters on thickness and electronic properties (resistivity r, dielectric strength EBR) of BN films based on ellipsometry and I-V curve measurements at room temperature is studied. The obtained results show that proper selection of deposition process parameters allows BN layers with the required thickness and advantageous values of r and EBR to be fabricated. BN becomes therefore an interesting material for microelectronics applications.

Wydawca:

Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy, Warszawa

Format:

application/pdf

Identyfikator zasobu:

oai:bc.itl.waw.pl:282

DOI:

10.26636/jtit.2007.3.825

ISSN:

1509-4553

eISSN:

1899-8852

Źródło:

Journal of Telecommunications and Information Technology

Język:

ang

Prawa:

Biblioteka Naukowa Instytutu Łączności

Temat i słowa kluczowe:

thin BN films III-nitrides electronic properties RF PACVD

Kolekcje, do których przypisany jest obiekt:

Data ostatniej modyfikacji:

24 lip 2024

Data dodania obiektu:

27 sty 2010

Liczba wyświetleń treści obiektu:

315

Wszystkie dostępne wersje tego obiektu:

https://bc.itl.waw.pl/publication/325

Wyświetl opis w formacie RDF:

RDF

Wyświetl opis w formacie OAI-PMH:

OAI-PMH

Nazwa wydania Data
Firek, Piotr; Werbowy, Aleksander; Szmidt, Jan; Kwietniewski, Norbert, Influence of the deposition process parameters on electronic properties of BN films obtained by means of RF PACVD, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2007, nr 3 24 lip 2024

Obiekty Podobne
Properties of Al contacts to Si surface exposed in the course of plasma etching of previously grown nanocrystalline c-BN lm, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2005, nr 1

Szmidt, Jan Werbowy, Aleksander Firek, Piotr Olszyna, Andrzej R.

2005, nr 1
artykuł
Technology of MISFET with SiO2/BaTiO3 System as a Gate Insulator, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2009, nr 4

Szmidt, Jan Firek, Piotr

2009, nr 4
artykuł
Reliability of MIS transistors with plasma deposited Al2O3 gate dielectric film, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2001, nr 1

Szmidt, Jan Werbowy, Aleksander Dusiński, Emil Zdunek, Krzysztof

2001, nr 1
artykuł
Multistage optical switching networks, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2002, nr 2

Kaczmarek, Sylwester

2002, nr 2
artykuł
Correlation between electric parameters of carbon layers and their capacity for field emission, Journal of Telecommunications and Information Technology, 2007, nr 3

Szmidt, Jan Czerwosz, Elżbieta Gronau, Ryszard

2007, nr 3
artykuł
Więcej
×

Cytowanie

Styl cytowania:

Dane kontaktowe

Adres

Instytut Łączności – Państwowy Instytut Badawczy ul. Szachowa 1 04-894 Warszawa

Telefon

(+48) 5128 696

E-Mail

biblioteka@il-pib.pl

Odwiedź nas!

Ta strona wykorzystuje pliki 'cookies'. Więcej informacji